陶瓷劈刀(ceramic bonding tool)是一种具有垂直方向孔的轴对称的陶瓷工具,属于精密微结构陶瓷部件。
陶瓷劈刀是微电子加工领域引线键合(wire bondding)过程中使用的焊线工具,在封装技术中发挥了极其重要的作用。
陶瓷劈刀具有硬度极高、绝缘、耐腐蚀、耐高温、表面光洁度高、尺寸精度高、使用寿命长等特点。特别是内部的镜面研磨及同轴度加工设备的精度要求。
陶瓷劈刀的运用使现代微电子行业向大规模集成化、微型化、高效率、高可靠性等方向发展。
陶瓷劈刀由氧化铝材料组成,一般会加入氧化锆(ZrO2)增加劈刀材料的韧性和耐磨性,即增韧氧化铝(ZTA)。
与碳化钨、钛金等其他材质的劈刀相比,陶瓷劈刀具有硬度大、机械强度高、晶粒细小、外表光洁度高、同轴度尺寸精度高、
使用寿命长等优点,与碳化钨、钛金等其他材质的劈刀相比中脱颖而出。
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